用于微電子和半導(dǎo)體應(yīng)用的潔凈室設(shè)施由于其產(chǎn)品的敏感性而需要嚴(yán)格的環(huán)境控制。 這些潔凈室還裝有極其精密和昂貴的設(shè)備，例如光刻機(jī)、蝕刻機(jī)、清洗機(jī)、摻雜機(jī)和切割機(jī)。 因此，清潔規(guī)范中的任何缺陷都會影響整個(gè)生產(chǎn)過程。 微電子和半導(dǎo)體潔凈室概念和設(shè)計(jì)中的其他常見問題是最大化空間，同時(shí)還允許未來重新配置。 由于所有這些原因，模塊化潔凈室系統(tǒng)通常是最佳解決方案。
由于其產(chǎn)品的敏感性，微電子和半導(dǎo)體應(yīng)用的潔凈室設(shè)施需要嚴(yán)格的環(huán)境控制。 這些潔凈室還裝有極其精密和昂貴的設(shè)備，例如光刻機(jī)、蝕刻機(jī)、清洗機(jī)、摻雜機(jī)和切割機(jī)。 因此，清潔規(guī)范中的任何缺陷都會影響整個(gè)生產(chǎn)過程。 微電子和半導(dǎo)體潔凈室概念和設(shè)計(jì)中的其他常見問題是最大化空間，同時(shí)還允許未來重新配置。 由于所有這些原因，模塊化潔凈室系統(tǒng)通常是最佳解決方案。
半導(dǎo)體和微電子潔凈室滿足以下要求：氣密性； 紫外線過濾； 無顆粒滯留； 無污染物擴(kuò)散。
ISO 8573-1 確立了三個(gè)粒徑范圍：0.1 到 0.5 微米（微米）、0.5 到 1.0 微米和 1.0 到 5.0 微米。 同樣，沒有大于 5 um 的顆粒符合 1-5 級純度等級。 只有純度等級 1 和 2 才需要所有三個(gè)尺寸范圍。通常，壓縮機(jī)或過濾器制造商建議使用過濾器去除顆粒和油脂，并且隨著半導(dǎo)體水平的提高，測量小至 0.1 微米的顆粒，校準(zhǔn)激光粉塵顆粒計(jì)數(shù)器 是必須的。 對于許多食品制造商來說，由于可用性和費(fèi)用的原因，這可能被證明是不切實(shí)際的。 如果不經(jīng)常采集小樣本，激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器可能會很昂貴，但當(dāng)粒子污染成為問題時(shí)，它會非常有用。 激光粒子計(jì)數(shù)器可用于通過現(xiàn)場測試結(jié)果快速采樣多個(gè)位置，使其成為故障排除的理想選擇。
0.1um激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器特點(diǎn)：
ND‐9510 激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器(0.1μm)用于測量潔凈環(huán)境單位體積空氣內(nèi)的塵埃粒子大小及數(shù)目，最小 粒徑檔可達(dá) 0.1μm 可直接檢測潔凈度等級為三十萬級至十級的潔凈環(huán)境。儀器采用了半導(dǎo)體激光光源，液 晶大屏幕顯示，體積小、重量輕、檢測精度高、功能操作簡單明了，微處理器控制，可儲存、打印測量結(jié) 果，測試潔凈環(huán)境十分便利。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、化學(xué)、食品、化妝品、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、 航空航天等領(lǐng)域。
粒徑范圍為 0.1-2(5)um 操作界面友好：彩色觸摸屏操作，外殼全不銹鋼，無按鍵，無衛(wèi)生死角，便于清潔 存儲數(shù)據(jù)可 U 盤導(dǎo)出 6 通道粒徑同時(shí)顯示粒子濃度 交直流兩用 95%UCL 計(jì)算，自動判定潔凈度等級 可打印、可存儲、可導(dǎo)入電腦 體積重量至小至輕：便攜式，方便轉(zhuǎn)運(yùn) 可選配相關(guān)配件，實(shí)現(xiàn)壓縮空氣的檢測（例如：GC101 等）
0.1um激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器特點(diǎn)技術(shù)參數(shù)：
