潔凈室不像我們?nèi)粘Ｉ钪械姆块g，它不允許你隨便進(jìn)出，它是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。
對于潔凈室的潔凈室潔凈程度的維持和控制，除了硬件設(shè)備配合投資外，也需要良好的軟件--管理制度來配合，方能維持良好的潔凈度。半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)的微污染來源，經(jīng)測試分析結(jié)果，作業(yè)人員占約80％。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進(jìn)出潔凈室時(shí)塵埃有顯著的增加，有人動(dòng)作時(shí)，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因，人是主要因素。
即使人是最大的污染源，但潔凈室總是需要有人操作的，那么該怎么辦呢？
1.作業(yè)人員之管理，在潔凈室內(nèi)污染來源80％來自作業(yè)人員，因此若能使作業(yè)人員依潔凈室管理辦法確實(shí)執(zhí)行管理，而所有人員也均能配合實(shí)施，則污染源的產(chǎn)生可說已減少大半。
2.進(jìn)入潔凈室之人員，必須要具備有達(dá)成高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，并要維持最好狀態(tài)的觀念。
3.作業(yè)人員進(jìn)入潔凈室數(shù)目以維持最小限度為原則（愈小愈好），并須依潔凈室進(jìn)出標(biāo)準(zhǔn)流程進(jìn)出潔凈室。出則相反方向進(jìn)行，唯不須經(jīng)空氣洗塵室脫塵處理。
