ND系列表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器用于測(cè)量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品,光學(xué)鏡片組件、液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。
本儀器的核心零部件(光學(xué)傳感器)及控制器等采用美國TSI同款所生產(chǎn)的組件來保證該產(chǎn)品的測(cè)量精度。
本儀器外殼采用不銹鋼制作,并經(jīng)表面鈍化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作,檢測(cè)儀采用進(jìn)吸氣的氣泵為旋片式進(jìn)口氣泵,并可通過流量傳感器來自動(dòng)調(diào)節(jié)氣泵的運(yùn)行流量,使其保持在一個(gè)穩(wěn)定的檢測(cè)流量范圍內(nèi),表面測(cè)試探頭根據(jù)德國同類產(chǎn)品進(jìn)行改良,并配有防靜電軟管與主機(jī)連接,其于用排氣及吸氣過濾的囊式過濾器。內(nèi)部濾材采用進(jìn)口從而保證儀器的檢測(cè)精度及運(yùn)行穩(wěn)定性。
ND系列表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器由三部分組成:
掃描取樣頭:取樣的同時(shí)可以提供一定壓力的吹掃氣流,可以集成操作控制器;
激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器主機(jī):主要由氣泵、傳感器、主控板、過濾器以及電池組成;
連接主機(jī)與掃描采樣頭的管道:包括取樣管道與吹掃管道。
ND系列表面塵埃粒子計(jì)數(shù)器技術(shù)參數(shù):
采樣流量 | 28.3L/min |
重量 | 約5.5kg(含電池) |
尺寸 | 270x 240x 200mm(寬×深×高) |
顯示方式 | 7寸液晶觸摸屏 |
粒徑顯示通道 | 0.3、0.5、1、3、5、10(μm)(可定制0.1UM) |
計(jì)數(shù)效率 | 0.3μm 50%±20%(粒徑通道) 0.5μm 99%±10%(第二粒徑通道) |
檢測(cè)周期 | 0-9999sec之間任選 |
自凈時(shí)間 | ≤10min |
打印機(jī) | 內(nèi)置式熱敏打印機(jī) |
電源 | DC 12.6V 內(nèi)置鋰電池 |
最大功耗 | <35W |
允許最大采樣濃度 | 35000顆/L |
連續(xù)工作時(shí)間 | 8小時(shí) |
光源及壽命 | 半導(dǎo)體激光器(壽命大于30000小時(shí)) |
數(shù)據(jù)存儲(chǔ) | 20000組(可選配升級(jí)到300000組) |
數(shù)據(jù)輸出 | U盤 |
使用環(huán)境條件 | 溫度:10℃-35℃,濕度:20%-75%,大氣壓力:86kPa-106kPa |