通常,根據(jù)儀器的規(guī)格和成本來(lái)選擇在潔凈室中使用的粒子計(jì)數(shù)器。一些關(guān)鍵問(wèn)題:
1粒子計(jì)數(shù)器將用于什么類型的環(huán)境?將用于ISO 3級(jí)潔凈室進(jìn)行常規(guī)顆粒計(jì)數(shù),還是用于其他驗(yàn)證流動(dòng)的關(guān)鍵工藝過(guò)程?
2預(yù)計(jì)收集什么類型的數(shù)據(jù)?將這些信息記錄為簡(jiǎn)單的合格/不合格?還是將信息記錄到電子表格或數(shù)據(jù)庫(kù)中?
3操作人員是否將塵埃粒子計(jì)數(shù)器放在周圍,是將其放置在關(guān)鍵的工藝的工作臺(tái)上,還是將其安裝在可以移動(dòng)的小車上?
4這個(gè)粒子計(jì)數(shù)器是否會(huì)被用于認(rèn)證潔凈室和從測(cè)試完一個(gè)位置然后到另一個(gè)位置?
5塵埃粒子計(jì)數(shù)器是否會(huì)被用來(lái)進(jìn)行連續(xù)的動(dòng)態(tài)的潔凈室粒子監(jiān)測(cè)?粒子計(jì)數(shù)器是否打算與環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)連接?
在考慮過(guò)以上的關(guān)鍵問(wèn)題以后,介紹如何進(jìn)行塵埃粒子計(jì)數(shù)器的規(guī)格和型號(hào)選擇。
盡管大部分的塵埃粒子生產(chǎn)廠家都使用相同的原則,但是每一家的設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)都是不一樣的。比如塵埃粒子計(jì)數(shù)器的流量,靈敏度,尺寸范圍和計(jì)數(shù)通道數(shù)量,激光或激光二極管的耐用性,光源的壽命,保持校準(zhǔn)的能力都是需要考慮的重要因素。
靈敏度:
指粒子計(jì)數(shù)器可檢測(cè)的最小尺寸的顆粒。
零計(jì)數(shù)水平:
使用經(jīng)過(guò)濾的空氣以最佳流速持續(xù)給定的時(shí)間量的錯(cuò)誤報(bào)告的顆粒的數(shù)量。這個(gè)正確的報(bào)告是每5分鐘的粒子數(shù)量。(期望的零計(jì)數(shù)率應(yīng)該小于每5分鐘1次)
計(jì)數(shù)效率:
指測(cè)量的顆粒濃度與真實(shí)顆粒濃度的比率。使用更靈敏的儀器測(cè)量真實(shí)的顆粒濃度,在被測(cè)儀器的最小顆粒尺寸下計(jì)數(shù)效率為100%。設(shè)計(jì)合理的儀器應(yīng)具有50%的計(jì)數(shù)效率。
通道:
根據(jù)計(jì)算的每個(gè)顆粒的相應(yīng)尺寸,顆粒所放入的“箱”的數(shù)量。通道以微米來(lái)表示。例如,你可能有一個(gè)4通道的粒子計(jì)數(shù)器。這意味著可以在4個(gè)不同的通道中對(duì)粒子進(jìn)行計(jì)數(shù)和分類。通道的實(shí)例是:0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm。
流量:
指通過(guò)粒子計(jì)數(shù)器的空氣量。通常以每分鐘立方英尺來(lái)表示。常見(jiàn)的流量為小流量 0.1cfm(2.83L/min) 大流量 1cfm(28.3L/min),GMP新規(guī)定中也有50L/min,100L/min流量的儀器;流量越大,需要抽空氣的真空泵越大,粒子計(jì)數(shù)器越大。