用于微電子和半導(dǎo)體應(yīng)用的潔凈室設(shè)施由于其產(chǎn)品的敏感性而需要嚴格的環(huán)境控制。 這些潔凈室還裝有極其精密和昂貴的設(shè)備，例如光刻機、蝕刻機、清洗機、摻雜機和切割機。 因此，清潔規(guī)范中的任何缺陷都會影響整個生產(chǎn)過程。 微電子和半導(dǎo)體潔凈室概念和設(shè)計中的其他常見問題是最大化空間，同時還允許未來重新配置。 由于所有這些原因，模塊化潔凈室系統(tǒng)通常是最佳解決方案。
由于其產(chǎn)品的敏感性，微電子和半導(dǎo)體應(yīng)用的潔凈室設(shè)施需要嚴格的環(huán)境控制。 這些潔凈室還裝有極其精密和昂貴的設(shè)備，例如光刻機、蝕刻機、清洗機、摻雜機和切割機。 因此，清潔規(guī)范中的任何缺陷都會影響整個生產(chǎn)過程。 微電子和半導(dǎo)體潔凈室概念和設(shè)計中的其他常見問題是最大化空間，同時還允許未來重新配置。 由于所有這些原因，模塊化潔凈室系統(tǒng)通常是最佳解決方案。
半導(dǎo)體和微電子潔凈室滿足以下要求：氣密性； 紫外線過濾； 無顆粒滯留； 無污染物擴散。
ISO 8573-1 確立了三個粒徑范圍：0.1 到 0.5 微米（微米）、0.5 到 1.0 微米和 1.0 到 5.0 微米。 同樣，沒有大于 5 um 的顆粒符合 1-5 級純度等級。 只有純度等級 1 和 2 才需要所有三個尺寸范圍。通常，壓縮機或過濾器制造商建議使用過濾器去除顆粒和油脂，并且隨著半導(dǎo)體水平的提高，測量小至 0.1 微米的顆粒，校準激光粉塵顆粒計數(shù)器 是必須的。 對于許多食品制造商來說，由于可用性和費用的原因，這可能被證明是不切實際的。 如果不經(jīng)常采集小樣本，激光塵埃粒子計數(shù)器可能會很昂貴，但當粒子污染成為問題時，它會非常有用。 激光粒子計數(shù)器可用于通過現(xiàn)場測試結(jié)果快速采樣多個位置，使其成為故障排除的理想選擇。
0.1um激光塵埃粒子計數(shù)器特點：
KM128這款0.1um粒子計數(shù)器體積小巧、使用方便、質(zhì)量輕便、全不銹鋼外殼的，采用28.3L流量可以方便、快速、有效地檢測凈化環(huán)境中的懸浮粒子，是目前藥廠，電子廠快速檢測潔凈室潔凈度的首選產(chǎn)品。
●粒徑范圍為0.1-2(5)um
●易操作，大尺寸的觸摸屏，和簡明的菜單引導(dǎo)，確保了一個簡單和輕松自如的操作
●可存儲50000個樣本記錄
●采樣流量為28.3升/分鐘
●可選擇測量值的分布式輸出和累計輸出，選中的數(shù)據(jù)格式與通常使用電子表格程序兼容.
0.1um激光塵埃粒子計數(shù)器規(guī)格：
1．測試粒子粒徑 0.1-2(5)um
2．粒子通道 標準設(shè)定或16個自由選擇粒徑通道
3. 最大濃度 150000/ 1CFM
4. 光源 激光二極管
5．光學(xué)系統(tǒng) 90°分散蓄光光學(xué)
6．流量 標準1CFM；28.3L/min
7．流量發(fā)生器 真空泵
8．流量控制 電子監(jiān)控
9．校準 乳膠氣溶膠依照國家標準和/或ASTM f - 328 ASTM f -649
10. 標準 ISO 14644-1, VDI 2083
11．取樣時間 1秒到99小時、59分鐘、59秒
12．數(shù)據(jù)存儲 50000個樣本
13．顯示和操作 屏幕大小8.4 英寸液晶TFT 顯示器
14．數(shù)據(jù)內(nèi)容記錄 日期，時間，ID號，字母數(shù)字鍵，測量和清零時間，累計粒子計數(shù)的16個粒徑通道
15．打印 熱敏57mm
16．外殼 不銹鋼
17．尺寸CM（D×W×H） 345*265*145mm
18．重量（KG） 6KG
19．供電電源 230/ 115 VAC, 50/ 60 Hz, 最大400 W
20．聲音報警 每個粒子通過聲音來探測到，聲強超過報警可調(diào)節(jié)
21．操作條件 5-35℃， 10-80%RH，非冷凝
