在潔凈室中，高效過濾器是實現(xiàn)高潔凈度空氣凈化的關(guān)鍵設(shè)備。100000級以上潔凈度級別的潔凈室普遍采用高效過濾器（HEPA)，但高效過濾器安裝后能否達(dá)到設(shè)計要求，在很大程度上取決于HEPA的安裝質(zhì)量。在實踐中有許多潔凈室其設(shè)計是合理的，但工程安裝結(jié)束后卻未達(dá)到預(yù)定的效果，檢測發(fā)現(xiàn)不是污染粒子超標(biāo)，就是細(xì)菌數(shù)超標(biāo)，并且還往往找不出真正原因。其實此類事情的發(fā)生，往往是由于HEPA過濾器安裝不合理引起的。
一、檢漏的重要性
1、檢漏試驗是粒子測定的基礎(chǔ)，其重要性不亞于粒子測定。
2、檢漏試驗和空氣流速達(dá)到了規(guī)定要求，氣流均勻度也在規(guī)定的控制范圍內(nèi)，則潔凈度當(dāng)然有了保證。
二、檢漏方法
1、氣溶膠作塵源，與氣溶膠光度計配合。
常用氣溶膠：鄰苯二甲酸二辛酯（DOP），因其具有致突變性，現(xiàn)多采用聚α－烯烴（PAO)。
2、大氣塵作塵源，與粒子計數(shù)器配合。
因為光度計讀數(shù)為瞬時讀數(shù)，便于掃描，巡檢速度快；而粒子計數(shù)器讀數(shù)為累積讀數(shù)，不利于掃描，巡檢速度慢，另外由于在被測高效過濾器上風(fēng)側(cè)往往大氣塵濃度較低，需補充發(fā)煙才能明顯、容易地發(fā)現(xiàn)泄漏，而因此氣溶膠光度計檢漏法恰恰彌補了粒子計數(shù)器法檢漏的不足之處，因此前者采用較多。
